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半行业

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今天的半导体行业推动了电子业务。最近,周期性,知识渊博的观察者期望半导体的增长继续随着整个电子价值链的需求增加:计算机和外围设备,消费电子,电信,工业电子,国防,空间和运输。该行业仍然波动,必须快速适应。

下载我们的解决方案简介,以进行半导体制造中的流量,水分和氧气测量

在我们的新解决方案简介中,我们概述了在考虑在您的超纯环境中使用流量计和分析仪的最佳方法时所需要了解的所有内容。我们还解释了两家公司如何依靠我们的水分和氧气测量系统来解决在复杂环境中工作的挑战。


半导体的景观解决方案

流量测量
氧气和水分测量

流量测量

半导体行业可以在高级清洁室中使用高度的水纯度,以及用于清洁,蚀刻,电镀和平面化过程的高纯气气体和其他化学物质。在交付有价值的输出时,必须保持这些高纯度过程中的流量测量值,以最高效率和24/7操作的可用性运行该过程。

景观夹具超声流量计安装在半导体植物中:

  • 原水,冷却水,冷水,洗涤水,脱矿水,去离子水,废水从15mm到600mm(1/2英寸至24英寸)
  • 化学物质
  • 实用气体:空气,氮,氧气,氩气,二氧化碳从15mm到300mm(1/2英寸至12英寸)

氧气和水分测量

半导体过程需要高纯度气体和其他化学物质,以清洁,清除,蚀刻,镀和平面化过程。这些气体中的任何水分和氧气污染物,即使在每一分十亿(PPB)水平,也可能不利于工艺产量和产品质量。这些污染物的可靠且可重复的测量和控制至关重要。



按需网络研讨会:半导体 - 超级工业环境

在本网络研讨会上,我们展示了幅度如何通过必要的测量来支持半纯度纯度目标以实现最高纯度目标



半植物上的流量计

研究证明,对氧气含量和可靠的,可靠的,污染的自由流量测量在超纯水,公用事业和气体上,以及在清洁室中生产的芯片和其他电子组件需要的芯片和其他电子组件需要原始水和废水。

净水的过程通过许多阶段移动。尽管电磁流量计可以测量原水的数量和质量,但一旦水被脱矿和去离子化,电导率就会变得太低。较小的线上的化合物具有较低的流量。尽管精确的细节和数量不可测量,但这些化合物可以包括丙酮,三氯乙烯和异丙醇,其中大多数可能引起安全危害,因此必须无泄漏。

半绘画

所有气体都以氮,氧,氩气,氢,氦,二氧化碳和空气为工业制造厂供应工厂。在半导体制造过程中,氮,氧,氩气和氦通常用作吹扫气体。这些气体必须具有最高的纯度,因为污染物(例如水分和氧气)的污染物含量甚至最高,可能会对过程产量和产品质量产生负面影响。

半供应
解决方案

景观夹具超声流量计安装在半导体植物中:

  • 原水,冷却水,冷水,洗涤水,脱矿水,去离子水,废水从15mm到600mm(1/2英寸至24英寸)
  • 化学物质
  • 实用气体:空气,氮,氧气,氩气,二氧化碳从15mm到300mm(1/2英寸至12英寸)

这项夹具技术的主要驱动因素是:

  • 距管外部几分钟之内安装
  • 没有过程中断
  • 没有污染的风险
  • 随着时间的流逝没有漂移
  • 具有嵌入式诊断的智能仪表来评估其“健康”
  • 提高能源效率,因为仪表不会产生压降
  • 低资本支出和OPEX
  • 没有停机时间增加流程可用性
  • 高可靠性

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申请说明
半导体行业应用程序中的测量箱夹具注释
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申请说明
液体夹在半导体行业应用程序中进行水测量
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案例分析
控制超导体氧化物层应用程序注意
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案例分析
半导体中的绘图式流量计
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